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成功的故事

Druck为高纯特种气柜提供压力监测解决方案

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客户类型:半导体工厂专用高纯度气体柜制造商

工业:半导体

应用程序:监控高纯特种气柜压力

解决方案:Druck的unik1000可配置的模块化压力传感器

德鲁克的客户

Druck的客户总部位于中国,是一家专业从事高纯特种气柜研发和制造的领先的高科技创新公司。

德鲁克的顾客的挑战
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煤气柜

高纯专用气柜广泛应用于半导体生产线,为高纯保护气体提供精确的压力和流量控制。压力控制精度要求大于0.25% FS,气体压力范围可以从低水平(14.696psiG和~ 1000psiG之间)到高水平(1000psiG和~ 3000psiG之间)不等。根据高纯度专用气柜的气路设计,安装的传感器数量从5个到10个不等。由于半导体加工工艺的特殊,所要求的传感器需要满足系统的高纯度规格,纯度要优于99.999%,并且要具有防腐蚀、防漏的集成设计。

为了提高安装系统的密封效果,Druck的客户要求传感器完全脱脂、无油,并配备半导体行业常用的特殊VCR压力连接器。

德鲁克的解决方案

Druck团队与客户建立了密切的合作关系,并推出了unik1000压力传感器。经过广泛的合格和验收测试,客户对unik1000压力传感器的高精度、长期稳定性和低成本非常满意。Druck开发了特殊的VCR压力配件,可以承受高达6000psi的压力,符合行业规范。此外,还为传感器的制造过程制定了清洁制度,以确保满足客户的无油要求。

德鲁克的附加值

Druck的unik1000压力变送器是成功的unik5000可配置模块化压力传感器的衍生产品。在这种情况下,定制的VCR压力连接器使客户能够准确、方便地监测位于高纯度特殊气体柜的气体管道中的压力。

此外,Druck的unik1000压力传感器可以根据客户对高纯度条件的要求来使用,因为在传感器制造过程中已经进行了脱脂和无油处理。本地化的生产,短的产品交货期,优秀的定制能力,以及强大的国内技术支持,帮助客户降低了运营成本,从而使他们的业务增长。

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